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激光清洗的進(jìn)行是機(jī)械裝置、有關(guān)能量和污物層的各種相關(guān)因素的綜合。激光切割機(jī)如果大多數(shù)污物對1.064um的光吸收強(qiáng)烈，激光切割機(jī)在清洗過程就能在低能量下(<1j/cm2)輕易進(jìn)行，并將對底層表面的破壞減至 低。強(qiáng)烈的能量吸收導(dǎo)致快速加熱和并發(fā)的污物顆粒膨脹。由于脈沖波長很短，膨脹過程很快發(fā)生，生成的合力能將污物顆粒從表面噴射出去。這是一個有選擇性的過程。如果能量稍微提高，一些材料將被加熱到足夠高的溫度而發(fā)生蒸發(fā)。在更高的能量（大于1.5J/cm2，數(shù)值取決于污物層），移除污物的過程機(jī)理變得更加復(fù)雜，并包括表面附近的離子體的形成和生成的振動波。這樣清洗的選擇性就降低了，并能引起底層表面的破壞。因此，清洗過程應(yīng)采用 低的實(shí)用能量，這樣操作激光切割機(jī)就具有更高的選擇性。